光掩膜板包含了整个硅片图形特征进行1：1图形复制，这种掩膜板用于比较老的接近式光刻和扫描对准投影机中。
光掩膜板的基材一般为熔融石英，在制作过程中要在石英表面溅射一层铬层，如果石英表面吸附有任何的灰层和杂质都会影响铬层，铬层又会直接影响到整块光掩膜板，光掩膜板上的任何缺陷都会对最终图形精度产生严重的变形，光掩膜板必须保持“完美”。
想保持完美的光掩膜板必须要借助超声波清洗机的力量，只有超声波清洗机能做到如此完美，它可以将凹凸不平的石英表面砌底的清洁干净，也可让那些长期住在光掩膜板密密麻麻的微孔里的尘埃大搬家。
说光掩膜板选用超声波清洗机清洗是在合适的方式了。
威固特光掩膜板超声波清洗机型号为VGT-4000PFT，这台设备的优势是各槽配备有清洗过程摇动机构，141B溶剂槽备有蒸汽源、定时器、无放调速提稓装置或气动提升装置，不锈钢材料、零部件、元器件均优质进口。
该设备特点： 1.该机型是光学/光电行业的专用清洗机。
2.人性化设计，操作及运行更合理。
3.管路全部采用抛光不锈钢管。
4.超声波功率连续可调多少频高频综合使用。
5.清洗主槽和汪储液槽设有独立过滤系统。
6.设有抛动清洗装置与慢拉提升装置，清洗效果均匀。
7.清洗、漂洗、脱水、慢拉、干燥等工艺。
8.加热设有自动恒温系统。